塑料粒子黑点检出机识别精度16.6µｍ

ウエハやダイシング後にチップの外観を高速で検査できる

• ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能。
• 多様なパターンのチップの検査が可能。
• 品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能。
• 組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能。（オプション）
• 画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能。
• 一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能。
• オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備。
• 厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能。（高速な高さ測定、高さ補正機能付き）
• 全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり。（オプション）
• シート越しでの裏面検査が可能。（オプション）
• NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能。（オプション）
• 廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しない　HS-256Gもあります。